二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269638 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500光刻設備是一種先進的光刻系統，旨在實現半導體制造中的精密工藝。該單元用於以高度精確的方式使用光掩碼對半導體晶片進行圖樣繪制。TEL CS500具有高性能對齊機，確保芯片制造過程中的最佳精度和速度。它旨在在高密度晶片上實現可靠和均勻的模式。該工具的精確度通過具有10納米分辨率的高精度對準級來確保4英寸晶圓尺寸。該資產還具有用於管理晶圓過程信息的高級數據控制模型。它與主控制設備接口，以確保準確和可預測的性能。它還具有高分辨率數字顯示屏和圖形蒙版編輯器,允許對蒙版陣列制作過程進行可視化檢查。TOKYO ELECTRON CS 500還具有先進的無磁（MFF）模式，具有超寬處理範圍能力。通過消除導電材料和永磁材料可能造成的某些變形，這種模式可以獲取高質量的圖像。該系統還配備了強大的照明單元，專門設計用於提供整個晶圓的照明均勻性。這種均勻性對於實現模式化芯片設計至關重要。該照明機具有非對稱同軸照明和利用場透鏡提高效率的特點。最後，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500提供了一個內置的過程監控工具，允許實時驗證每一個有圖樣的晶圓。此監視資產可以檢測到諸如掩碼設計中不希望出現的失真、CD和焦點錯誤等問題,從而為過程工程師提供有關制造過程的即時反饋。總體而言，CS 500光刻膠模型是為精密半導體加工而設計的先進光刻設備。它具有多種功能,可確保準確性、統一的陣列和過程監控,使其成為生產高質量、復雜芯片設計的寶貴工具。