二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269642 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種高性能的光刻設備。TEL CS500是一種多策略機器,旨在以高分辨率和吞吐量準確重現要求苛刻的多層流程。它配備了高分辨率液晶微焦光學器件、雙裝載站、掃描氣體噴射器系統、紫外線（UV）照明器。TOKYO ELECTRON CS 500擁有500 MHz液晶微焦光學器件、雙載荷站以及獨特的光學和同步控制單元，具有高速曝光能力。這使機器能夠以精確的分辨率和線寬控制有效地處理各種單層和多層曝光過程。此外，掃描氣體噴射器工具有助於確保暴露過程中的均勻性和均勻性，從而能夠精確處理高度復雜的圖樣。紫外線照明器具有廣泛的波長和強度水平，可以精確控制。這允許多灰度、分割曝光、多次曝光等各類圖案的精確再現。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500具有先進的自動化資產，能夠獨立的裝卸過程以及進行精確的對準和過程監測。該模型還提供了各種各樣的模式設置和對齊參數，從而可以全面覆蓋各種基板。總體而言，CS500是一種高性能的光刻設備，占地面積很小。該系統提供了廣泛的曝光配置、復雜的自動化單元、精確的模式設置和曝光,以及比以前的系統更高的速度。這使得它成為需要高分辨率的高級應用程序的理想解決方案。