二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269646 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種光阻設備，利用幾種最先進的技術來產生比傳統光阻技術更高質量的結果。該系統包含幾個組件,它們共同作用以創建卓越的光刻圖像。首先，該單元配備了高需求量的深紫外光源，以保證光敏膠片的成功曝光。該機的波長範圍為250至410 nm，以配合各類光刻膠膜的光譜要求。光源還包含一個高效的快門工具來控制曝光時間和保持光刻膠層的完整性。資產還具有全自動級和自動晶圓處理模型，能夠處理直徑在2到300毫米之間的晶圓。這種晶圓處理設備配備了真空卡盤和自動級，非常適合大面積曝光。此外，該系統維持一個高度精確的基板位置監測單元，以確定光刻膠層均勻和可重復曝光的優先次序。TEL CS500還配備了先進的抗蝕劑浸沒機技術，可確保足夠的抗蝕劑供應和消除灌註抗蝕劑中的氣泡。該工具采用堅固高效的流通資產設計，用於抗蝕劑的統一和連續補充。最後，該模型有兩個先進的配藥模塊，分別用於精密抗蝕應用和均勻成膜。這些模塊利用高精度和高精度的分配方法來創建統一和一致的光刻圖樣。這些特性的結果是一個光刻設備，能夠創造高性能的圖像和均勻的圖樣具有優越的光刻膜質量。憑借其先進的能力和技術，TOKYO ELECTRON CS 500能夠為多樣化的光刻膠系統需求提供優越的效果。