二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269647 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment是為生產集成電路而設計的先進光刻系統。該設備是一臺全自動光刻機，利用最新的光刻技術，以前所未有的精度和速度實現芯片生產。TEL CS500具有曝光和顯影的能力,最多可使用24張相片。每小時最多可處理6,500個晶圓,並具有各種不同的功能,以滿足客戶嚴格的光刻需求。這些包括廣泛的曝光波長，從深紫外線（DUV）光到X射線光。該工具還允許進行標線控制和晶片級對準,以確保曝光的準確性。TOKYO ELECTRON CS 500配備了先進的自動對準資產（AAS），以確保光刻膠層在曝光過程中正確定位。該模型考慮了零件形狀和位置數據、X射線狹縫對準和晶圓應變調節器,以確保產生正確大小的抗蝕層。AAS還允許調整劑量率設置，可以調整以產生指定厚度的抗蝕層。此外，CS 500有內置的檢測設備，用於檢測光刻膠層生產後的任何缺陷。該系統能夠檢測到3微米以下的缺陷，從而能夠快速檢測和校正任何有缺陷的薄膜。TEL CS 500為了確保光致抗蝕劑的均勻曝光和顯影，使用了先進的相幹光束陣列（CBA）曝光單元。這臺機器有一系列激光射流投射到抗蝕層，確保光在整個層中均勻地被測出。TOKYO ELECTRON CS500是一種強大的光刻工具，可以在芯片生產中提供大大提高的精度和吞吐量。它結合了先進的自動對準和檢測系統，以及光束陣列曝光資產，使其成為現代芯片生產過程中不可或缺的工具。