二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269648 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment是一個集成的自動化系統,旨在應對先進半導體器件制造的挑戰。TEL CS500配備了化學條帶模塊，為去除半導體晶片中的光刻塗層提供了卓越的條帶性能。該單元還可作為自動旋轉開發和塗層單元,設計用於以最少的人工幹預來處理光刻塗層和預塗層解決方案。TOKYO ELECTRON CS 500具有簡單、用戶友好的操作觸摸屏,具有自動晶片大小和聲音警報通知功能,可處理過程幹擾或清潔。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500為高速率生產和靈活性而打造,具有多種移位配置。該計算機提供了易於使用的直觀圖形界面,可用於可配置的流程步驟。該工具具有獨特的冷路換熱器,可確保整個晶圓區域的工藝均勻性和出色的塗層厚度均勻性,為所有應用提供卓越的精度。此外，CS 500還包括一種先進的化學分配模式，能夠控制包括過度噴霧在內的所有分配要求。TOKYO ELECTRON CS500設計為同時執行Spin塗層和Spray塗層工藝,具有多達300種高級塗層配方。它與易碎基板的無錯誤多晶片處理和可靠的高精度定位相結合，提高了工藝產量。先進的自我診斷資產包括所有基本模型組件的全面數據記錄。此外,TEL CS 500還提供了用戶可配置的自定義報告,用於自動數據分析。CS500是一個高度可靠的腔室環境，利用氣體凈化設備和過濾模塊保護晶片質量，凈化大氣，保護晶片表面免受汙染。先進的通風系統旨在防止壓力中斷，從而能夠保持較高的真空水平。此外，該裝置采用先進的晶片處理機制，確保完全的邊緣汙染控制，在自動批處理和單晶片處理之間具有靈活性。TEL/TOKYO ELECTRON CS500還提供用戶選擇的均勻層和幹調技術過程，以達到最佳膜均勻性和結晶完美。此外,運算符還可以配置流程參數和設置參數,以最好地滿足流程要求。這樣可以確保完美的晶圓對準和最大的塗層均勻性。總體而言,TEL CS500光刻機為靈活生產而設計,性能卓越.該工具提高了流程的準確性、可重復性和吞吐量。其直觀的觸摸屏界面和自我診斷資產確保了操作方便和高效的過程控制。TOKYO ELECTRON CS 500是先進半導體器件制造的理想解決方案。