二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269651 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CS500是為半導體器件制造而設計的光刻設備。它利用一系列的光刻技術在一個表面上創造出高質量的微結構,具有高分辨率。該系統利用數字成像技術,以納米精度水平產生高精度設計特征。TEL CS500將晶片表面上的光敏塗層暴露於紫外線光源。然後,這種UV光在傳送到晶片之前由高分辨率程序進行調制。這個程式可以針對不同的光刻膠類型量身定制,讓使用者得到精確準確的設計。TOKYO ELECTRON CS 500還利用先進的真空裝置減少塗層過程中的環境空氣汙染。這減少了缺陷,並防止顆粒堵塞塗層,因為它是應用。該機器還配備了高級劑量時間打印機(DTP)軟件。該軟件允許用戶設置紫外線光源的曝光量和劑量水平。這是通過將所需的設計模式直接輸入到軟件中來完成的。然後用戶可以監控實時劑量水平,並嘗試優化所需設計的曝光。CS 500還提供了一系列安全功能,保護人員和設備免受紫外線輻射。這包括一個實時成像工具,它可以檢測紫外線暴露,使工作人員能夠穿著防護服並保持安全的工作距離。該資產還提供可減少輻射暴露的輻射屏蔽和屏蔽過濾器。TEL CS 500是半導體器件制造商的寶貴工具,提供精確的納米級設計功能、真空防護環境空氣汙染,以及保護人員和設備免受有害紫外線輻射的安全功能。
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