二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269697 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種為極端化學、機械和熱穩定性而設計的光阻設備。該系統由兩個組件組成：TEL CS500光致抗蝕劑單元本身，執行曝光、開發、預烘烤和後烘烤過程，以及隨附的軟件，使用戶能夠調整配方和機器參數。TOKYO ELECTRON CS 500工具允許在內存IC芯片生產設施中精確曝光和開發光刻膠。高度精確的準直曝光資產和單獨的模具等離子體預烤單元的結合提供了極好的均勻性、可重復性和速度。細螺紋高度調節機構提供高精度的曝光控制。該型號還配備了一個自動開發頭,以獲得優異的效果,並配備了內置的薄膜厚度監視器。隨附的軟件提供了控制和調整所有工藝參數的手段，包括蒙版尺寸、曝光劑量、開發時間，以及通過點擊鼠標進行預烘烤和後烘烤溫度。配方參數可以保存在內存中，並被召回以備將來使用，使得可重復的處理與精確的配方變得簡單。該設備還包括一個使用壽命長的光學狹縫單元，可提供高精度的平整以及用於精確測量的薄膜厚度監視器。此外，還提供了電子自動抵抗負極控制，以避免在移動和沖洗期間產生沖擊負載。該系統結構緊湊,易於安裝,並提供低維護、低能耗和降低噪音級別。它設計用於在極其惡劣和腐蝕性的環境中運行，並且與各種化學品和溶劑兼容。該裝置具有較高的化學、機械和/或熱穩定性，適合在最堅固的生產環境中使用。總之，TEL CS 500光致抗蝕機是一種精度高、操作方便、均勻性高、可重復性好的刀具。其特點和穩定性使其成為內存IC芯片生產設施的理想資產。