二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269701 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是設計用於晶片在半導體和微電子制造中的光阻設備。它能夠處理200毫米以下的基板尺寸。TEL CS500提供了可用於顯微光刻的最高分辨率,並能夠利用子四分之一微米特性進行曝光。它具有現代化的設計和先進的功能,以確保可重復、可靠的結果。該系統設計用於晶片的快速裝卸，便於大規模生產。它具有獨特的運動機制，精確對齊基板，確保均勻處理。此外，它可以完全自動化，提供最有效和最經濟的光刻手段。TOKYO ELECTRON CS 500使用激光基設備照射晶圓表面，曝光劑量可調節以達到可擴展性和最佳性能。它能夠利用多種光敏材料，包括聚甲基丙烯酸甲酯家族、聚酰亞胺家族和novolac家族中的材料。該單元能夠應用廣泛的光敏膠片，實現各種微米尺度的模式，精確的均勻性和覆蓋率。利用其綜合工藝參數，可以快速校準，達到理想的效果。TEL CS 500還為微調工藝參數提供了廣泛的選項。這包括特征改進，如可調節的激光束強度或聚焦，以及調整曝光時間的能力。利用這些參數，無論電阻材料或模式如何，機器都可以配置成達到高質量的結果。CS 500是一種強大且高度可靠的光刻應用解決方案,可提供卓越的吞吐量和準確的結果。它是任何半導體或微電子生產線的寶貴補充。