二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269702 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是為高精度光刻應用而設計的光刻設備。它具有小巧的機身，易於安裝在織物和潔凈室中，並且能夠生產具有極好的重復性和準確性的口罩和圖案。TEL CS500利用高精度級和掃描激光系統來精確控制基板和光致抗蝕劑的運動。舞臺可重復性為1 µm，而掃描儀可重複移動模式，精度為0.03 µm。它專為多種基材而設計，包括感光玻璃、GaAs、石英等先進材料。TOKYO ELECTRON CS 500利用真空卡盤和靜電電容來固定基板並優化曝光。其光學單元設計為均勻分布光，減少強度異質性誤差。整個機器能夠在長達10分鐘的時間範圍內曝光一個完整的蒙版，同時還支持步進重復曝光模式和對大面積蒙版的連續掃描。CS 500使用的光刻膠由用戶精確定義，允許開發者控制他們創建的模式的分辨率。TOKYO ELECTRON CS500的曝光範圍高達17mJ/cm2，適用於各種應用。它能夠支持直徑可達300 mm的光掩模尺寸,並采用開放式體系結構設計,以允許其他系統與TEL/TOKYO ELECTRON CS 500集成。CS500設計的維護要求最低,可用於遠程監控和操作。它能夠與其他TEL光刻系統通信,從而能夠更好地控制生產時間和工作流程。TEL CS 500是用於高精度光刻應用的可靠光刻工具。