二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269704 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是設計用於半導體制造加工的創新光刻設備。光致抗蝕劑是一種應用於基板上的光敏材料，如半導體晶圓，以便在制造集成電路的過程中產生模式。TEL CS500系統將直接成像技術與獲得專利的紫外線曝光技術相結合，以實現更高精度和更高精度的光刻膠圖案。除了其直接成像技術外，TOKYO ELECTRON CS 500還設計了暴露於紫外線的專有方法。在這一單元中，腔室配置了兩組紫外線燈，可提供高度定向、均勻的圖樣照明，從而能夠精確、精確地定位光刻膠線條。光照強度也是可調節的，允許使用者針對不同的光阻複雜度和線寬來調整機器。該工具的專有曝光技術旨在最大程度地減少由光學散射和幹涉引起的誤差,從而產生具有盡可能小的線寬的最高質量的陣列。此外，CS500還配備了先進的照明控制器和精確的曝光時間設定功能，以獲得最佳效果。CS 500資產還采用自動化模型設計,包括實時自動劑量調整功能,可實現卓越而精確的光刻膠圖樣。自動化設備還可以檢測和檢測錯誤,從而便於故障排除和模式統一調整。此外,該系統采用低成本曝光和處理解決方案,結合基於軟件的流程控制、友好的用戶界面和增強的流程控制功能。為確保出色的光刻膠圖案，TOKYO ELECTRON CS500單元還配備了改進的亞微米精度和改進的分辨率，超出了常規系統的可打印能力。此外,該機器還配置用於各種不同的基板,包括高紋理和粗糙的表面,可用於單發和多發曝光。總體而言，TEL CS 500是一種開創性的光阻工具，它結合了先進的紫外線曝光技術和專有的成像技術，以獲得更高的精度和圖樣。其自動化資產、先進的照明控制器、改進的分辨率和經濟高效的解決方案使其成為各種不同應用的理想光刻膠模型。