二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269707 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是為半導體及相關行業的器件生產而設計的光刻設備。它設計用於使用曝光照射和蝕刻技術精確處理薄膜光刻膠層。該綜合系統能夠高效、精確地處理各類薄膜光刻膠層。TEL CS500旨在支持設備生產中的用戶,在處理極薄的光刻膠層時提供高精度。它配備了最新的光刻設備，旨在確保精確的曝光和精確的層厚度控制。它使用UV-VIS-IR的曝光源，使用戶可以處理從65nm到5µm厚的光刻膠層。TOKYO ELECTRON CS 500具有高精度曝光級，允許在較小的基板上更高的精度。它還控制了大氣幹濕蝕刻系統，能夠準確控制和監測蝕刻過程。溫度和壓力水平是可調的，該單元設計為保護光刻膠層免受汙染。CS 500配備了自動光阻處理支持軟件，旨在為用戶提供高效、準確的光刻序列。此軟件允許用戶輕松調整photomask進程的變量。TOKYO ELECTRON CS500機采用晶片ID技術，跟蹤晶片的位置並記錄數據，以提高精度和可重復性。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一款先進的光刻膠工具，旨在為設備生產提供精確的工藝。它具有高精度曝光階段、大氣幹濕蝕刻資產和自動光阻處理支持軟件，用於優化光刻。它還包括用於精確跟蹤和數據記錄的晶圓ID技術。TEL CS 500是應對先進設備生產挑戰的理想機型。