二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種先進的光刻系統，為制造先進的電子器件提供高分辨率光刻。TEL CS500利用了最先進的功能,如Photo Resist Spin Coating （PRSC）和可變聚焦光學（VFO）。PRSC用於將光刻膠沈積在基板上。這一過程使光刻膠薄膜的厚度能夠均勻化，確保大小板上的曝光劑量和線寬是相同的。VFO利用激光器確保光刻膠層的精確、高分辨率圖樣。激光聚焦於基板的精確層或區域以進行臨界圖樣和曝光。除了PRSC和VFO之外，TOKYO ELECTRON CS 500還具有有助於光刻過程的溫度控制級。該級對基板施加熱量，以利於光致抗蝕劑層的均勻性。該階段還優化了固化時間，從而提高了暴露精度。TEL CS 500還提供了一個直觀的圖形用戶界面（GUI）,用於快速輕松的過程控制。直觀的GUI使管理配方、選擇曝光、調整參數和監控流程變得容易。該系統還具有實時圖像查看器,該查看器顯示基板的圖像,以便在曝光操作期間進行監視。CS 500是現代半導體制造中必不可少的工具。它提供了薄膜材料的精確圖案，而不犧牲精密或質量的成品設備。TOKYO ELECTRON CS500有助於降低生產成本,並提供各種產品的最高分辨率。該系統是需要高分辨率光刻技術的芯片制造商的可靠、經濟高效且推薦的解決方案。