二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種自動光刻塗層設備，設計用於processing用於半導體制造的抗蝕性基板。TEL CS500基於允許360度覆蓋基板的單軸級。這樣就可以實現高效的應用程序過程,因為系統可以打開和關閉電源以快速、精確地抵抗加載。將TOKYO ELECTRON CS 500樹脂送入註射器泵中，可以對塗層溶液進行精確精確的控制。然後使用泵以「跟蹤跟蹤」模式在整個晶片上應用和傳播抗蝕劑溶液。這確保了抗蝕劑在整個基板上的均勻和一致的覆蓋。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500有幾種不同的操作模式。其中包括一種自校準模式，允許用戶在塗層前檢查抗蝕劑的均勻性和覆蓋範圍，從而更容易識別任何參數設置或校準錯誤。該設備還配備了自動溫度控制機。這樣可以確保整個過程的溫度一致,從而確保抗蝕劑的準確和一致的應用。TOKYO ELECTRON CS500還具有內置故障檢測工具。這有助於在分配抗蝕劑之前提醒用戶註意任何問題,以便在需要時更快地采取糾正措施。CS500與各種各樣的抗蝕劑兼容，從負到正，從低到高粘度。這允許快速更換小規模或大規模生產的抗蝕劑。最後，CS 500還允許方便地連接到計算機網絡，允許對資產進行遠程控制和操作。這對於大規模生產很有用，允許遠程監督和調整任何參數。總體而言,TEL CS 500是一種自動化的光刻膠塗層模型,旨在以最小的手動幹預,在基板上提供均勻一致的抗蝕層分布。其自動化特性和與多種抗蝕劑的兼容性使其成為半導體制造中的理想選擇。