二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269718 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是為先進的半導體和微電子器件制造而設計的光刻設備。它能夠從各種基材中蝕刻和剝離光致抗蝕層，包括矽片、石英晶片、OLED基材和幾種金屬。TEL CS500先進的制圖能力最大限度地提高了光刻膠的利用率，使工藝速度更快，成本效益更高。TOKYO ELECTRON CS 500具有高分辨率成像系統，能夠成像小至0.35微米的特性，為電路特性提供精確的重復性。光學單元也具有較低的折射率，意味著它可以減少衍射，並能夠傳輸更高的能量輻射。這使機器具有更高的分辨率和更高的吞吐量,從而可以更快、更精確地蝕刻電路。CS 500配備了高效的後電子倍增器檢測器，可最大化光刻膠的信噪比。它還有一個高靈敏度的寬帶CO2激光輸送工具，能夠實現低壓運行，顯著減少高能輻射下的濺射。交付資產還配備了一個平地能量探測器，可以在大面積地區進行精確處理。TEL CS 500還具有特殊的腔室設計，有助於減少蝕刻過程的接觸時間，同時保持低溫環境。這樣可以減少加工時間並提高薄膜穩定性。CS500還包括獨特的分離室配置，通過防止晶圓和分離室之間的交叉汙染來降低汙染水平。最後，TOKYO ELECTRON CS500包括一個先進的控制程序，允許快速設置和易於操作。控制程序的設計允許用戶即時調整處理參數，確保處理過程針對正在處理的基板進行優化。它還允許對外殼溫度和腔室壓力進行遠程控制，以達到最終的蝕刻精度。