二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269720 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是用於先進半導體器件工藝的光刻設備。它是根據半導體制造商的需要量身定制的，提供了一個全面的電磁光刻系統。該單元可以容納廣泛的基材，包括8英寸和12英寸的晶圓，並具有高分辨率的步進/掃描儀機器。它還能夠容納高達18英寸晶圓的雙面板。步進/掃描儀工具可以生成分辨率高達0.08 μ m的高分辨率圖像。該資產提供了許多功能，以確保光刻過程中的準確性和可靠性。這包括一個完全封閉和自動化的掃描儀卡帶加載模型，一個軸上晶片對準模塊，以及高速晶片處理設備。該系統還包括一個先進的熱卡盤加熱器,該加熱器可實現溫度控制和熱均勻性,以及高度集成的控制體系結構,以便於過程設置和管理。光學單元由多種元件組成，包括高功率照明機、高級相位光柵和場耦合器。特別是照明工具具有高光屈服，使高精度圖樣打印具有良好的聚焦深度。資產可以處理廣泛的基材和光敏材料。它與標準的i-line和KrF光刻系統兼容，並裝有化學-蒸氣沈積（CVD）的抗蝕塗層模型。作為防腐塗層工藝的一部分，該設備包括側壁控制，這是精密設計所必需的重要步驟。該系統還具有高級軟件,可輕松管理和跟蹤流程的每個步驟。該軟件允許使用簡單、用戶友好的圖形界面設置、處理和監視參數。總體而言,TEL CS500光敏裝置是先進的、通用的半導體器件加工工具.其高分辨率的步進/掃描儀、先進的照明、CVD抗塗層以及全面、用戶友好的軟件,使其成為制造商在執行光刻過程時尋求精度和可靠性的絕佳選擇。