二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269721 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種用於半導體器件制造的高端光刻設備。它是一個全自動系統，可用於執行各種半導體加工應用，如制圖、退火、蝕刻和沈積。TEL CS500是一個ARCVD（大氣關系，化學，蒸氣沈積）機，使用電阻掩模單元進行光刻。它能夠制造極薄的光刻膠層，為晶體管和IC等有源半導體器件的創建奠定基礎。機器可以在0.1 µm分辨率的高分辨率環境和10,000晶圓/小時的單模速率的高通量環境中運行。機器可以一次處理100/晶圓，這導致由於自動化而產生更高的設備產量。TOKYO ELECTRON CS 500還設計了其原位清洗工具（ISPS），以確保最大程度的過程穩定性和可重復性。這一資產提供了預混合工藝氣體的冗余流動，具有溫度和壓力穩定的環境，這對於精確的半導體器件制造至關重要。CS 500型包括一個完全集成的塗層/顯影劑單元，設計用於優化工藝配方和控制。它旨在覆蓋從邊緣到邊緣的整個晶片,提供均勻性和更大的工藝控制。該設備還設計用於各種應用，包括但不限於制造MEMS、PCB、LED、生物傳感器和光學元件。該系統還可以通過額外的流程解決方案進行定制，以滿足客戶的各種需求。總之，CS500是一個堅固可靠的光阻裝置，為用戶提供其半導體器件處理應用的高級功能。憑借其先進的特性如原位清除機（ISPS）、塗層/顯影器單元、高分辨率和吞吐量能力，是高端半導體器件制造的理想選擇。