二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269722 待售

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9269722
System HITACHI LE-4000A Aligner (Min board).
TEL/TOKYO ELECTRON CS500是半導體工業中用於制圖、蝕刻和抵抗加工的光刻膠系統。該機集成了圖形工作站(GWS)和中央處理單元(CPU)兩部分。GWS負責所有圖形輸入、圖像處理和輸出。它包括用於用戶界面的鼠標和鍵盤,以及用於查看操作進度的顯示屏。另一方面,CPU負責控制和協調所有操作。它由主機、軟件和外圍設備組成。TEL CS500采用了廣泛的成像工藝,如光刻、層壓、電鍍、熱固化和光學加工。其核心技術是俗稱深紫外線光刻的照相技術的改良版。該技術包括使用一束聚焦緊密的紫外線來曝光一種光刻膠,然後對其進行處理,使其在目標表面上形成精確的圖案。TEL CS500allows適用於各種抗蝕劑類型,從通用抗蝕劑到高分辨率光致抗蝕劑。抗蝕劑材料放置在幹凈的房間環境中,然後被系統的激光曝光。暴露後,抗蝕劑得到了發展,產生了一種可以在目標表面上精確再現的微小特征模式。TOKYO ELECTRON CS 500采用了三維自動對焦、可編程自動曝光、可編程曝光坡道、多模式對準等多種先進功能。它還提供各種曝光後控制模式,如烘烤後、開發後、應用後和蝕刻後。這樣可以確保過程的每個步驟都得到準確和精確的控制。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一種可靠、用戶友好、精確的光刻膠系統,為半導體工業提供高效的工藝控制和高質量的模式。其精密的特性和先進的技術使其成為精密蝕刻和抗加工的理想之選,使其成為業界最流行的光刻膠系統之一。
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