二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269725 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種光刻設備，旨在滿足大容量微電子和光電子生產的各種需求。它利用先進的成像和曝光技術為先進的半導體器件提供卓越的性能。該系統適用於從光學薄膜到電子束和X射線抗蝕劑等多種光刻材料的光刻。TEL CS500配備了多種硬件和軟件功能,使用戶能夠準確定義曝光字段並聚焦晶圓以獲得最佳性能。它具有增強的高分辨率圖形發生器,可確保卓越的幾何保真度、邊緣清晰度和對焦深度,以及降低標線誤差的對準攝像頭。此外,軟件內置的暴露參數數據庫使用戶能夠快速調用以前使用的暴露設置,而無需進一步輸入數據。TOKYO ELECTRON CS 500還包含了一些優化該單元實際使用的功能。它配備了免維護、50 kV晶片級，不需要手動調整晶片位置以保持邊緣銳度。此外，其先進的自動化晶片處理功能允許多個晶片一次加載和卸載，大大縮短了循環時間。TEL CS 500的先進軟硬件特性保證了高可靠性的性能，保證了一致的產量。通過利用其板載無掩碼光刻功能,它非常適合需要最高生產效率的大批量生產環境。此外,機器的固有靈活性使其能夠快速調整以適應不斷變化的生產技術,例如改變光源。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一款最先進的光刻工具，為用戶提供無與倫比的性能和可靠性。借助先進的成像和曝光技術,它可以輕松滿足當今苛刻的生產不穩定環境的需求。