二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269726 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種用於半導體光刻的先進光刻系統。它是一個高精度的系統，可以讓用戶在各種光刻配方中精確地曝光光刻膠。TEL CS500提供了一系列功能,使光刻膠處理更輕松,包括自動曝光控制和強大的焦點控制工具。TOKYO ELECTRON CS 500的設計可容納多種不同類型的光電抗蝕劑，包括單層和多層抗蝕劑配方。它能夠在高達450mm x 450mm的曝光面積的單層和多層光刻膜中曝光圖樣。CS500具有高速掃描功能,可支持高達0.5微米的線寬。這在先進的光刻應用中適用於超細結構的圖樣化。CS 500還提供許多其他功能,包括用戶友好的圖形用戶界面、溫度控制環境和各種安全功能。曝光控制器提供曝光設置的實時反饋,以確保最佳模式曝光。TEL CS 500還配備了內置的輻射計量元件，允許用戶對抗蝕劑膜厚度和抗蝕劑曝光輪廓進行原位測量。TOKYO ELECTRON CS500結合了精度和穩定性，為用戶提供卓越的加工效果和優雅的體驗。它旨在減少浪費，同時提供高產量和可重復的工藝結果。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500因能夠以精確度和精確度暴露不同特徵大小的圖樣，非常適合半導體工業和研究的各種應用。其多種特性和堅固的性能使其成為光刻加工的理想系統。