二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269757 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種光刻灰化設備,其設計目的是利用前沿技術最大限度地提高產量。該系統設計用於光敏加工，這是半導體器件制造的關鍵步驟。TEL CS500利用遠程等離子體源對光刻膠進行高精度和精確度的蝕刻。這使操作員能夠在高度控制的情況下定義蝕刻時間、功率和氣流。光致抗蝕劑灰化裝置以較低的熱預算和較高的選擇率提供快速清潔。機器提供了一次蝕刻多層光刻膠的手段，具有很高的穿透力。這使得具有極好的均勻性和高度可靠的工藝，提高產量和提高質量。TOKYO ELECTRON CS 500是一種工具，它能夠利用像Plasma Lens™技術這樣的先進功能來控制光束的均勻性，從而獲得最佳的定向性能。其高精度脈沖氣體控制、精細接口（PC或PLC控制）和多維成像儀等先進功能是增加處理工作量並充分利用工具功能的進步。TOKYO ELECTRON CS500是一項旨在提供可重復結果並增加滿足客戶要求的可能性的資產。此模型還提供了監視、監視和驗證蝕刻過程的方法。這也有助於提高質量並降低與蝕刻後測試相關的成本。TEL CS 500易於使用的接口使操作員能夠靈活地有效地簡化灰化過程。此外，結合氣體監測、明室探測和超壓保護等安全特性，提供了安全可靠的工作環境。總之，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一種提供精確且可重復結果的灰化設備，控制程度高，清洗速度快，選擇率高。憑借其令人印象深刻的功能和用戶友好的界面，CS 500可用於提高光刻膠加工的產量和質量。