二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269765 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種最先進的光刻設備,能夠同時執行高分辨率光刻和幹蝕刻工藝。該系統旨在提供亞微米幾何形狀的精確圖樣，然後用於創建集成微電子器件。該單元有一個帶有可拆卸靜電卡盤的腔室，用於平面化和陣列化。機器內部有一塊由抗蝕劑材料和專用基板組成的塊。靜電卡盤懸浮塊並精確控制晶片的速度和位置。為了進行光刻工藝，TEL CS500利用先進的高分辨率光源，如KrF或ArF準分子激光器。這用於通過掩蔽或內置的光掩碼在抗蝕劑上創建投影圖像。在此過程中，紫外線輻射與抗蝕劑相互作用，創建了一個根據掩模結構做出反應的圖像。在光刻步驟之後，該工具利用動態背面偏置發生器進行幹蝕刻應用。這一特性利用電源產生帶負電的方波偏置，應用於晶圓上的各個點。有了這種偏差，資產就能蝕刻到抗蝕劑中。此外，TOKYO ELECTRON CS 500還有一個溫度控制的環境，使得在不同的溫度下進行過程成為可能。這有助於優化設備的分辨率,以獲得所需的陣列處理結果。除了具有高分辨率光刻和蝕刻功能外，TEL CS 500還配備了在線檢測工具，可以對設備結構進行即時監控。這樣就可以立即調整流程,以產生更精確的設備。最後，該模型配備了一個用戶友好界面，可以對所有流程進行準確的監測和控制。這有助於使整個過程更加順暢和高效。因此，CS500是滿足任何先進光刻和幹蝕刻工藝需求的有力工具。