二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269767 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種專門用於光刻的照相晶片抗蝕劑加工工具。該工具采用濕法或幹法開發工藝，在抗蝕劑性能及其對蝕刻溶液的抗蝕性方面實現了優越的控制。TEL CS500利用專用的控制設備來管理物理參數,包括濕式或幹式開發解決方案的體積和溫度。這樣可以確保在最佳參數範圍內執行抗蝕劑開發過程,從而實現固定的、可重復的結果。系統為用戶提供高分辨率液晶屏,以準確明了的方式顯示當前設置。該裝置還能夠自動管理暗場和光場板裝置，以確保晶圓的光敏區域得到適當的曝光。TOKYO ELECTRON CS 500是分裂場兼容的，這意味著它可以在開發過程中實現對準註冊。這有助於確保臨界抗蝕劑陣列保持到最高標準。機器還有一個快速、直觀、準確的程序編輯器，它允許抗蝕劑開發的配置。這允許用戶創建自定義的程序來幫助實現特定的目標和要求。TOKYO ELECTRON CS500能夠控制其溶液沐浴水平，使其在沐浴中的精度達到+/-0.1毫米。這種精度水平有助於確保整個抗蝕層的均勻薄度，從而在抗蝕層開發中實現更精確的控制。TEL CS 500包括低擴展外殼,有助於確保準確的測量,並在整個開發過程中提供卓越的測量精度。該工具還提供了專用於抗蝕劑厚度測量過程的監控程序。這有助於確保在蝕刻過程之前,層的抗厚度精度。CS500還配備了蒸汽發生器，用於控制開發過程中產生的冷凝水滴大小。這有助於最大限度地減少晶圓幹燥缺陷並確保均勻的光阻層。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一種可靠而強大的光刻膠資產，有助於在敏感基板上創造出優越的圖案。它的高級控制系統有助於確保準確性和可重復性,同時為用戶提供易於使用的功能來創建強大的開發程序。