二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269768 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一種用於先進光刻和掩蔽應用的光刻設備。它專為滿足最先進的半導體和微電子制造工藝的需求而設計。TEL CS500能夠精確有效地沈積光刻膠層，可用於為電子元件創建導電通道。該系統利用了一種化學溶液，稱為光致抗蝕劑，它被施加並硬化到基板上。這種光刻膠後來作為一種耐蝕刻層，便於快速和精確的圖案、蝕刻、grpahics和電子元件的設計。TOKYO ELECTRON CS 500利用陰影或影像掩模投影單元，允許多種薄膜圖案印在基板上。然後將光敏的光致抗蝕劑暴露在特定波長的光下，在此期間有選擇地使遮罩光致抗蝕劑硬化。光刻膠的這種硬化作用是定義所需圖案形狀的模板。此外，CS 500采用了最先進的真空技術，以確保均勻塗層和創造統一的圖案。CS500功能自動控制,能夠對客戶產品進行精確操作和調整。這種操作靈活性允許對各種生產線任務進行快速的原型設計和優化，使高質量部件的制造能夠及時進行。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500的準確率為+/-0.2微米，可以處理直徑達400毫米的底物。此外，TOKYO ELECTRON CS500具有較高的可靠性和較低的運行成本，其高通量力學導致了高收率和重復性。綜上所述，TEL CS 500是為最苛刻的微電子和光刻應用而設計的先進光刻機。它將精確度和效率相結合,可以快速準確地生產元件和圖樣,並具有其他系統所無法比擬的靈活性和精確度。