二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301072 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是為電子器件的高級微結構而設計的光阻設備。它是一個全自動系統，旨在精確和精確地打印電子結構中的微小特征。TEL CS500允許在小到3mm的基板上進行多級打印,並且能夠尋址大多數基板方向。該單元集成了高分辨率電荷耦合器件（CCD）相機和激光二極管等成像和光學元件，使對準和焦點的控制能夠以卓越的精度優化亞微米特征的打印。相機還有助於在單個膠片或基板表面上大幅減少芯片對芯片的方差。TOKYO ELECTRON CS 500配備了一個提供高精度定位和旋轉的級，以獲得用於圖像定位的基板的精確對準。此外,還可以使用高分辨率和自動化索引器來實現X和Y方向的對齊對齊。為了實現有效的打印過程,TEL CS 500集成了高精度、直觀且用戶友好的圖形用戶界面,用於編輯、通道選擇和分辨率設置。此外，該機還具有高級參數定制的模式創建，便於復雜模式的精確成型。它還包括一個允許形成3D特征的「通過」功能，同時包括一個智能的標線控制機制，以確保只將最精確的圖像傳輸到基板或膠片。CS 500采用高級掃描算法,以極低的殘余重叠級別捕獲主映像和次映像。這樣可以確保打印特征具有最小的邊緣粗糙度和出色的配準精度。該工具還采用了先進的溫度控制技術,以確保打印溫度一致,從而實現卓越的均勻性。此外,CS500通過在單個平臺上集成分配和噴塗技術來提高最佳生產率。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500節能，在發生電源故障或其他故障時還包括緊急關機資產。該模型還得益於緊湊的物理設計,允許最大限度地減少空間需求和靈活選擇環境。