二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301977 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是光刻加工的光刻設備。它專為MEMS、先進集成電路、3D封裝、有機發光二極管（OLED）等高精度應用而設計。該系統結合了輸送機和多區全數字照明，可以實現快速、精確的操作。TEL CS500具有一個電動級和一個最先進的探測器，可以測量溫度變化與亞微量精度。該單元的數字X-Y線性級提供了高級穩定性、重復性和均勻精度，直至亞微米精度。TOKYO ELECTRON CS 500配備了高品質的摩托化光學機、高品質的精密多區照明工具、信號采樣和控制系統，為精密光敏處理提供了絕佳的環境。電動光學裝置允許在設置資產時對光學聚焦和對準進行精細調整。多區照明允許精確操縱照明區域的大小和位置，從而確保光刻膠在基板上的精確覆蓋。此外，信號采樣和控制系統提供對暴露劑量和暴露時間的準確控制。因此，TOKYO ELECTRON CS500可以用於高度復雜和精確的光刻操作。此外，該模型高度自動化，需要極少的操作員幹預。自動化的輸送機設備消除了操作員給基材餵食的需要。系統可配置為自動測量基板尺寸和基板位置。此外，該裝置還提供了自動化的工藝監控和優化機器，可以快速調整和改進工藝參數，以實現高效的光敏處理。CS500是高精度光敏處理的絕佳選擇。它提供了一個既適合原型制作又適合生產的自動化過程環境，使客戶能夠快速獲得高質量的結果。其可重復、可靠的操作，加上根據應用需求定制設置的靈活性，使得TEL CS 500成為半導體、MEMS、OLED等行業以及任何其他需要高精度光刻處理的行業的理想解決方案。