二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9411463 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是在半導體器件制造過程中使用光源有選擇地去除光敏材料抗蝕劑的光敏設備。它使用波長365nm的高分辨率紫外線光源。光源配有高精度的控制系統和塗層機構，以確保光刻膠以均勻的厚度塗抹。光源照亮了光刻膠薄膜，然後將其暴露在紫外線下。紫外線將圖像從光源轉移到光刻膜。當光致抗蝕劑膜被曝光時，被曝光的區域被選擇性去除，而未曝光的區域則保持完整。TEL CS500還具有圖樣對齊功能,能夠精確對齊光刻膠片上的圖樣。通過其精確定位單元，TOKYO ELECTRON CS 500可以將光源精確引導到光刻膠膜的適當區域。這種對準能力允許精確的模式放置與亞微米精度。CS500還包括固化劑，以便在光刻材料和底層基板之間提供均勻的交叉連接。這種交聯使光致抗蝕劑在整個設備制造過程中保持完好無損，並確保任何圖案任務都能可靠地並可重現地從光致抗蝕劑薄膜轉移到底層基板上。通過將精確的光源與其先進的對準能力相結合，TEL CS 500能夠以最小的失真和汙染，準確可靠地去除光敏材料。這使得TEL能夠生產出性能卓越的高精度設備。此外,它的對準能力、固化工具和總體資產設計使TEL/TOKYO ELECTRON CS 500成為各種半導體器件制造工藝的理想選擇。