二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9412547 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是為高精度、高效率光刻而設計的光刻設備。該系統采用先進的生產原理，用於半導體、光電和磁盤驅動制造業。TEL CS500配備了325毫米場自旋輔助步進運動控制，允許在248至419 nm的波長範圍內進行精確快速的推進。該單元還包括一個特殊的NIR驅動快門，使得更高的分辨率產量和更少的工藝步驟。TOKYO ELECTRON CS 500采用雙鏡頭設計，具有VIS/NIR目標和UV目標。紫外線目標既是碳纖維校正，也是玻璃纖維校正。機器上的鏡頭總數值光圈為0.90 （NA），以保證高性能成像。TOKYO ELECTRON CS500的視覺燈提供了自動識別遮罩圖樣的功能,即使其最小特征尺寸也很小,大大減少了手動調整的需要。借助雙軌平坦度測量工具和並排散射法，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500可以在過程中精確監測結果。CS500還配備了新的硬化偏振器,可在極端操作條件下精確調整成像或照明方向。這降低了極化元件的性能損失，從而提高了耀斑的均勻性和抑制能力。TEL CS 500將精確的運動控制與閉環級結合在一起,閉環級采用高分辨率位置傳感器,為目標掃描提供完整、準確的反饋。這不僅提高了位置精度，還保證了更高的吞吐量和更好的工藝性能。該資產配備了用戶友好的人機界面（HMI），便於操作和定制流程。HMI還配備了數據記錄模型，能夠安全和可追蹤的數據跟蹤和檢索過程結果。CS 500提供精確、可重復的光刻效果，導致成像屈服損耗降低，過程穩定性提高，吞吐量更高，客戶服務滿意度更高。該設備結合了先進的成像和工藝技術，是精密半導體制造的理想選擇。