二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399458 待售

ID: 9399458
優質的: 2002
Coater / Developer system 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS800是一種全自動光刻設備,利用一系列工藝生產半導體芯片和其他集成電路。該系統由兩級化學過程組成,其中第一級為光刻膠曝光,第二級為光刻膠層的發展。曝光過程是通過接觸曝光進行的,接觸曝光利用了口罩與目標材料(如矽片)的對準和曝光。這個過程允許光刻膠層的截面接收光子,這會導致基材上的改變。然後將目標材料轉移到利用相容化學品與暴露於目標材料的光子發生反應的發展階段。這允許創建模式,因為化學物質去除光刻膠層內所需的區域。利用這一點,可以根據用戶設定的規格來設計模式。TEL CS 800利用氮氣、空氣和氧氣來控制機器內的環境。這種特別設計的環境在處理精細材料時允許更高的準確性。在不同的過程中,單元也會在最佳溫度下運行,從而阻止在裝置上形成薄膜。此外,TOKYO ELECTRON CS-800利用特殊的燈提供曝光過程所需的光子。燈具高度專業化,可根據設計者創造的要求進行調節。TEL CS800是一個完整的、最先進的光刻機,它提供了一個非常精確和可靠的過程。該工具既利用了曝光階段,也利用了開發階段,以確保光致抗蝕劑應用的高質量。此外,在氮氣、空氣和氧氣環境下,這種工藝的精確度要高得多。專用燈還可確保曝光過程在更高水平的反射下非常準確。所有這些結合起來,就能形成一個非常高效和可靠的資產,這有助於產生盡可能好的結果。
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