二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399459 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS800是為半導體晶片圖樣設計的光刻設備。該系統能夠在晶圓級提供高分辨率的光刻膠圖樣。該單元由大型機、批處理單元、旋轉處理器和CDS監視器組成。大型機用於控制機器，包括一個圖形用戶界面，使其易於操作。它還包括各種通信端口，允許與半導體制造過程中使用的其他系統集成。大型機可以配置可編程控件，可以自動處理重復性任務。批處理單元用於高速處理一個周期內的多個晶片。這樣可以提高吞吐量,減少晶圓處理所需的總時間。加工單元設計為與微調器配合使用，一次最多可容納五盒晶圓。旋轉處理器用於在陣列處理過程中旋轉晶片。它專為高速、靈敏的操作而設計，以確保準確的處理。旋轉器裝有多種運動和控制機構，如自動主軸轉速調節、開槽導環和制動器。CDS監視器用於實時監視陣列制作過程的進度。該監視器具有數據采集、信號和漂移檢測以及圖像比較等一系列功能。CDS監視器可用於檢測任何潛在缺陷或問題,然後再影響最終晶片質量。TEL CS 800光致抗蝕劑工具的設計目的是提供晶圓級的高分辨率圖樣。它的特點，如大型機、批處理單元、自旋處理器和CDS監視器，允許簡單準確的操作，使得這項資產成為半導體芯片制造商必備的。