二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS800S #293661853 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS800S是一種光致抗蝕劑設備，設計用於晶圓級器件的開發和生產。它設計用於光刻過程，如蒙版書寫和蝕刻。TEL CS800S配備了高分辨率LaserWriter光掩碼寫入器，能夠在0.25um的音高上寫入10,000個電壓步長。它還可以用作超高分辨率蒙版的高端電子光束蒙版寫入器,可寫入高達50 nm的尺寸圖樣。該系統還包括一個大面積的成像後檢查單元，能夠對圖樣圖像進行快速、準確的檢查和分析。TOKYO ELECTRON CS-800S包括一個自動可調的階段，提供改進的光刻精度，以及廣泛的特性如自動聚焦、可編程的階段樣條等。此外,CS800S還提供了「軟電路監視器（SCM）」來測量掩模的光學性能。SCM還可以通過測量光掩模的總航空圖像強度和邊緣清晰度來檢測光掩模中的缺陷。使用CS-800S臺機器,可寫入的最大陣列大小為8 「x 10」,線寬降至0.05 um,接觸孔降至0.12 um。該工具還提供了4X的極化損耗降低，導致更高的電路屈服。除了上述功能外，TOKYO ELECTRON CS800S還提供了自動抗熱應用、快速曝光、高級抗熱預熱功能等一系列高級功能。此外，它還配備了自動校準資產，對階梯位移和階梯樣條等參數進行精確控制。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON CS-800S是一種高能力的光刻膠模型，設計用於高分辨率的光刻工藝。其自動校準設備、高分辨率激光寫入器和後成像檢測系統，適用於晶圓級器件的研制和生產。