二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS800S #9383288 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS800S Photoresist Equipment是一種用於半導體工業的尖端光刻解決方案,可實現高精度納米加工。該系統具有一套先進的集成光學器件，其分辨率比任何其他可用的光刻設備都要高。解析後的特性可以小至100 nm，典型的解析度為5-10微米的機器。該工具通過一種「步進重復」的方法來操作，該方法涉及將圖像成像到放置在旋轉滾筒上的膠片上，然後精確定位以在單個基板上創建多個圖像。資產的光源是一種紫外線激光器，由各種各樣的集成透鏡促進，以高效的方式創建高分辨率圖樣。除了改進的分辨率外,TEL CS800S還提供高吞吐量。這是通過獨特的狹縫掃描方法和先進的前體處理技術（PAAA）來實現的,以實現更快的處理時間。為了進一步改進該過程,光學計量模型能夠實現精確對齊,該模型具有廣泛的角度、深度和X-Y坐標,從而最大程度地減少了陣列中的變化。此外，該設備還包括一個具有大孔徑的高全晶片曝光站，以減少加工時間。該站還用於後期處理,以確保最終產品達到或超過所需的質量指標。總體而言，TOKYO ELECTRON CS-800S是一種頂級的光刻解決方案，可用於創建具有卓越分辨率、高通量和改進生產時間的納米制造。該系統還具有高級集成鏡頭、PAAA技術和精確對準計量學的高度可定制性，有助於進一步最大化設備的潛力。這些特性共同創造了一個真正革命性的光刻解決方案。