二手 TEL / TOKYO ELECTRON Hot plates for ACT 12 #293650996 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HOT Plates for ACT 12 is a photoresist equipment designed for microelectronic device probrication.它旨在為基板的生長、暴露和發展提供精確和受控的熱環境。該系統能夠產生10至300攝氏度範圍內的高度可重復和精確的溫度。熱板由導熱、平坦的非磁性基板、附加的加熱器板、溫度控制單元（TCU）和隔熱機械壓縮單元組成,該單元在加熱器板和基板之間建立了壓緊連接。該熱板具有均勻分布的溫度曲線，采用低熱質量陶瓷、樹脂等材料的先進組合，以實現最佳溫度控制和均勻性。TCU用於精確控制熱板溫度，使其快速準確地達到並保持目標溫度。加熱器板由一個Peltier型加熱裝置組成，其頂部有一個平臺，其中包含微貼片熱板和基板。ACT 12的TEL熱板使用數字活動控制器操作。活動控制器具有控制機器運行的一系列選項,包括溫度設定點、冷卻時間、開/關循環、冷卻持續時間和加熱器預熱配置文件。此外，數字活動控制器還包括高級監控功能，以確保該工具的操作準確高效。TOKYO ELECTRON HOT Plates for ACT 12 asset is designed to provided precise and consistent thermal properties while diminish thermal divers此外，該模型還提高了晶片對晶片的產量，提高了頂面平面度，提高了操作員的安全性和環境穩定性。該設備還可用於光刻、沈積、植入、蝕刻和輸液等工藝。