二手 TEL / TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8 #9409933 待售

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ID: 9409933
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8是一種全自動光刻膠處理設備,提供了一種經濟高效的方式來對晶圓表面進行高精度和可重復性設計。該系統旨在與大多數清潔設備集成,可用於加工多種光刻膠溶液。界面具有可變直徑軌道間距和壓力調節器,以確保最佳效果。該單元利用光投影儀投射所需的光刻圖樣到晶片上。投影儀使用的光源是UV LED,以穩定、受控的波長和通量發射。Clean Track Mark 8的軌道尺寸是可調的,允許在處理光敏材料時有更大的靈活性。反射率等一系列不同的光學屬性也是可調節的。該機以精確的坐標級保持高精度和可重復性。該級使用X-Y-Z運動來精確移動晶圓和光敏溶液。階段的精確度有助於確保形成統一的模式。該工具還有一個保護良好的控制單元,旨在防止灰塵和濕度。它配備了內置的安全資產,分析操作和環境條件,以確保最佳性能。Clean Track Mark 8的自動化操作和清晰的手動說明是為便於使用和維護而設計的。它采用了用戶友好的觸摸面板,可以快速、輕松地操作模型。該設備非常有效地在各種晶圓基板上產生高精度和高分辨率的圖樣。它能夠最大限度地減少汙染和粒子計數,這在處理光致抗蝕劑材料時是必不可少的。TEL Interface for Clean Track Mark 8是一個可靠的系統,可快速高效地在任何類型的晶圓表面上創建精確的光刻圖樣。它的準確性、速度和用戶友好的界面使得它成為那些尋求經濟高效光刻加工單元的人的一個有吸引力的選擇。
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