二手 TEL / TOKYO ELECTRON LITHIUS ARF #9303277 待售

TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS ARF是由半導體和薄膜制造設備的領先供應商TEL, Ltd.開發制造的一種光刻膠設備。該系統旨在優化和簡化芯片制造的光刻工藝。TEL LITHIUS ARF單元由ARF機和沈積工具兩個主要組件組成。ARF資產包括一個自動抵抗裝載機（ARL）、一個自動抵抗開發者（ARD）和一個晶圓檢查機器人（WIR）。ARL將晶片加載到ARD上，然後ARD根據用戶定義的參數沈積所需的光刻膠。然後，WIR對每個晶片進行檢查，以驗證抗蝕劑是否一直沈積，晶片表面質量是否令人滿意。沈積模型包括一個用於精確控制薄膜厚度的微米主軸、一個用於控制反應環境的反應室、一個用於精確調整光強度的曝光前和曝光後模塊以及一個用於半連續處理多達25個晶片的排氣設備。沈積系統采用先進的沈積控制算法，以保證每個晶片上均勻的抗蝕性厚度。ARF裝置和沈積機的結合，使光刻膠具有一致、高質量的曝光性，反應溫度控制嚴密，曝光度控制精確。反應室還設計用於最大限度地減少汙染物和最大限度地提高產率。該工具使用「準時」加載資產，通過確保晶圓不會長時間暴露在大氣中來減少不必要的停機時間。此外,TOKYO ELECTRON LITHIUS ARF可以很容易地與其他系統集成,例如步進器、掃描儀和退火器,使其非常適合在大批量生產環境中使用。LITHIUS ARF是現有最先進的光刻膠系統之一,在高效、經濟高效的軟件包中提供卓越的精度、可靠性和性能。