二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293829708 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款高性能的光刻設備，旨在支持先進的半導體器件制造工藝。它能夠生產高分辨率和廣泛的動態曝光波長的高質量光刻膠。該系統可以處理各種復雜的圖案形狀和尺寸，並且可以根據特定的設備制造需求進行調整。該單元結合了TEL先進的i-Line ETL均勻性技術，在晶圓表面提供了卓越的均勻性和均勻性控制，最大限度地提高了生產率。一臺功能強大的晶圓邊緣對齊機可以精確放置圖樣和精確定位特征和圖樣,從而獲得更精確的結果。TEL Lithius i+在直觀的觸摸屏面板上由用戶友好的控制工具操作，可以讓用戶快速輕松地設置設備並開始生產。它還利用了廣泛的附加功能，如自動調諧、集成分光光度計、圖像處理軟件和雙點光學瞄準。TOKYO ELECTRON Lithius i+獨特的模塊化設計，根據必要的要求，容易縮放加工速度。這允許用戶改變資產的速度，以滿足特定的生產目標，並快速有效地應對不斷變化的市場需求。此外,模型的模塊化設計允許用戶根據自己的需求定制流程,並根據需要升級流程。該設備還具有許多安全功能，如圍繞活動工序區域的安全護罩、操作員安全開關以及安全互鎖機制，以確保安全和合規的工作環境。所有這些功能的結合使Lithius i+成為前沿半導體器件制造應用的理想工具。