二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293830618 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款集成的光刻膠加工設備,其特點是在提高生產率的同時,仍能為掩模、基板清潔和光刻膠塗層提供出色的解決方案。該系統主要由三個部分組成：抗蝕劑預處理溶液室、抗蝕劑噴霧器和光照站。溶液室設計用於制備基板，然後再噴塗抗蝕劑材料。除了抗蝕劑預處理步驟外，溶液室還能清洗和剝離任何現存抗蝕劑材料的基板表面。該腔室還包含一個特殊的儲層，用於抗腐蝕，以進一步改善抗腐蝕附著力，防止在蝕刻過程中發生抗剝落和針孔形成。抗蝕劑噴霧器設計用於在基板上施加所需的光致抗蝕劑厚度。噴霧器使用空氣使抗蝕劑材料霧化，並確保在受控環境中均勻塗層。該機組配有專用調節旋鈕，用於控制噴霧圖案和液滴尺寸，以及可調節的噴嘴和霧化器。這允許用戶根據特定基板類型所需的確切規格自定義噴霧應用程序。最後，光照站被設計用來將遮罩設計傳遞到抗蝕劑材料上，創建一個有圖案的基板表面。該站設有高分辨率激光光源、顯微鏡放大級和可選激光對準機，以保持精度。此外，還包括專門的計算機視覺軟件，以使曝光過程自動化，並優化光刻膠工具的掩模開發。TEL Lithius i+是一項先進的綜合性光刻資產。其精確、可定制的設計為用戶提供了精密面膜和基板制備及塗層方面的卓越效果。此外,它的自動化功能消除了不必要的人工勞動,從而提高了用戶的工作效率並降低了成本。TOKYO ELECTRON Lithius i+具有卓越的特性，是精密基板制備和塗層的首選。