二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9032258 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是為半導體光刻設計的光刻設備。該系統提供精確的光學成像元件，使專業的晶圓塗層工藝能夠一致地制造半導體電路。該裝置的設計是為了在微加工的關鍵步驟中提供更一致的性能。該機有兩個關鍵組件，一個主組件和光學成像工具。主要組件可實現快速、精確的晶片塗層,而光學成像資產則控制光學特性,以確保薄膜覆蓋的一致性。光學成像模型包括三個不同的模塊；光源模塊、長度寫入模塊和光束控制模塊。光源模塊負責生產光刻工藝中使用的光，提供靜態光源和電動孔徑控制，以放大或縮小光的尺寸面積，以配合圖案工程技術。Length Writing Module負責提供要遵循的曝光模式的準確解釋，這是用來避免過度曝光晶片，並且可以減少微調或修正的需要。光束控制模塊負責控制狹縫寬度和光束強度，以最大精度匹配圖樣深度或延伸光的焦點。此外,設備還具有節點組件,這對於過程的準確性至關重要。這一組件允許操作員控制系統的電源，監控設備的狀態，以生產出質量的晶片。最後,模式傳輸單元是負責從源位置下載和註冊模式的組件,使其易於曝光。總體而言,TEL Lithius i+是一款出色的光刻機,具有廣泛的功能,可確保半導體器件的制造過程中獲得準確、高質量的結果。它易於與流程集成,減少了手動幹預的需求,而其可靠的組件提高了晶圓的產量。該工具為以前無法想象的產品開發提供了一定程度的準確性。