二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9171607 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9171607
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Coater / Developer system, 12"
Model no: T&H-ME1-4AAZAZZ-01
Wafer type: Notch
Wafer material: Si
Signal tower: ETC (4) Lamps
On-line interface: SECS II / GEM
In-line: Yes
Make: NIKON
Model: NSR
Main controller: Version 4
Layout type: IFB, PSB, CSB (Touch)
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款光刻設備，設計用於提供半導體器件微加工中精確高效的光刻工藝。它旨在確保在制造毫米和納米級器件時盡可能提高精度和生產水平。該系統圍繞一個由快門、透鏡和曝光光束源組成的石質單元構建，每個光束源都有數字控制。快門是一種先進的壓電執行器，由控制器控制，以確保最佳定位和曝光。透鏡提供高分辨率衍射成像光學器件，用於在晶圓上制圖。透鏡與晶片的接近確保了光刻過程的高分辨率幾何形狀。曝光光束源是利用數字光學和光學模型在晶圓表面上提供最佳模式的激光器。該單元有一個聚焦的短脈沖激光源，用於創建高分辨率圖樣，無論是用於晶片的微細加工還是用於激光直接書寫材料。這種聚焦的短脈沖激光源非常適合許多應用,包括晶圓上現有特征的修改、新特征的創建以及需要光刻精度的廣泛應用。該源能夠在各種材料上投影圖像而不會失真或損壞，有效地提供了廣泛的光刻能力。該機器還包括許多其他組件,這些組件可實現高效的生產能力。這些組件包括自動基板卡帶處理以及易於編程的自動對焦功能。自動聚焦可確保每個晶片以最佳精度曝光和陣列。控制平臺是一個精密的用戶界面,設計為高度直觀和用戶友好,使工具能夠執行許多復雜的任務,包括多次曝光、開發多種配方和計算組件。該資產還包括多種追溯能力，包括曝光後對準、跟蹤和高速晶圓戰爭校正。這使得即使是最苛刻的生產計劃也可以使用模型。TEL Lithius i+是一款先進的光刻設備，提供高效的光刻解決方案，精度無與倫比。各種組件、自動化功能和可追蹤性選項可確保系統可用於各種應用程序和生產要求。
還沒有評論