二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9198142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+Photoresist Equipment是一款用於制造半導體器件的功能齊全的系統。它旨在提供精確、可重復的層層微米厚的光刻膜沈積，從而產生高質量的晶片和模具。光刻裝置由沈積室、濕板凳、光學檢視器、五個電源和一個計算機控制模塊組成。沈積室是機器的主要部分。它采用「浸塗層」技術，精確沈積均勻的光敏膜。它還設有一個帶有內置真空的觀察窗口，用於監測塗層工藝。濕板凳包含沈積過程的溶液和沖洗罐。它還具有一個在沈積過程中沖洗光刻膠薄膜的泵。該工具配有五個單獨的電源，以提供沈積過程所需的電源。它有兩臺用於電阻塗層的高頻發電機和三臺用於電阻膜平整的低頻發電機。該電源還采用模擬數字轉換器，以降低雜散電場的幹擾程度。最後,TEL Lithius i+Photoresist Asset以計算機控制模塊為後盾.該模塊便於校準和防止沈積過程中的錯誤。它還可以利用實時數據和反饋來監控整個過程，從而更好地控制沈積過程。總之，TOKYO ELECTRON Lithius i+Photoresist Model是一款可靠準確的設備，可以高效生產高質量的半導體器件。它采用浸塗技術、五個電源和一個易於校準和過程監測的計算機控制模塊，具有高效的沈積工藝。