二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9235810 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是光刻工藝中使用的光刻設備。它允許將實現的電路模式精確、高效地傳輸到半導體晶圓上。該系統支持光學步進器和投影儀、開發系統以及曝光後烤箱。它具有邊緣曝光能力、雙波長曝光、基板自動冷卻和先進的膜流技術。TEL Lithius i+單元采用先進的光電子技術，包括精確的激光光源、高精度的光學定位器組件和脈沖光掩模儀器。光源用於將復雜而精確的圖樣投射到半導體晶圓上，然後精確地暴露在不同的曝光時間。曝光後的烘烤烤箱確保了曝光圖樣的安全傳遞,並且自動基板冷卻可確保防止曝光過程中的任何溫度變化。TOKYO ELECTRON Lithius i+光刻機還具有先進的薄膜流動技術。這項技術提供精確控制的參數和配方，圖案特征是可調的。該工具還提供流程優化，或者集成到資產中，或者作為一個單獨的離線流程。此外,Lithius i+光刻膠模型的邊緣曝光能力確保了圖樣的曝光形狀和保持其最佳方向,從而確保了準確的叠加性能。此外，該設備具有雙波長曝光，使其能夠支持不同波長的不同光掩模。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+光刻膠系統是光刻過程中的一個寶貴工具，導致了精確高效的實現電路模式。它是一種經濟高效、堅固耐用的光刻解決方案,可提供精確和高性能的結果,同時易於維護和使用。