二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9283131 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i是一種最先進的光刻設備，設計用於制造先進的精密結構和元件。該系統利用一種液態光致抗蝕劑，將其塗抹在基板上，並暴露在紫外線下，從而在抗蝕劑材料中形成圖樣。然後可以開發和蝕刻暴露的區域,留下所需的模式.該設備配備了一系列高級功能，旨在確保高可靠性性能和效率。首先，該單元包含一個自動抗蝕劑塗層模塊，在基板上提供一層均勻的光致抗蝕劑。它配有精密的遮罩對準器，能夠精確定位各種遮罩，可用於不同強度的曝光。此外,該機還具有一個集成檢測模塊,該模塊使用照相機驗證光刻膠圖樣,以及一個集成顯影器端口,可用於快速清潔和剝離剩余的抗蝕劑。TEL Lithius i的另一個關鍵特點是其先進的紫外線（UV）光源。這種高功率源確保光刻膠圖案在整個過程中得到一致的發展。該裝置還配備了熱控制模塊，使基板的溫度控制能夠減少溫度引起的誤差。由於其高品質的性能，TOKYO ELECTRON Lithius i成為了那些希望制造先進精密結構和元件的人的黃金標準。而且，與其他類型的光刻膠系統相比，其生產成本相對較低，使其成為具有預算意識的行業的一個有吸引力的解決方案。所有這些功能使Lithius i成為各種應用的理想選擇。