二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9283134 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i是用於替代傳統光刻工藝的光刻設備。它可用於創建高長寬比結構,低至低於1：1。該系統由曝光頭、石英板和光刻膠處理器組成。曝光頭使用UV-Visible光來進行光刻過程。這一單元優越的精度，高對比度，和高水平的反射率，它提供首選。對於用於IC/COS和晶圓級封裝的光刻等應用，曝光頭簡單地放在光刻處理器的頂部，然後通過自動化鏈接到石英板。然後，光致抗蝕劑處理器將所需的材料提供給石英板，並根據所需的圖樣將其曝光。曝光頭還利用先進的光學聚焦機，這有助於提供均勻的強度分布以獲得最佳結果。一旦所需的圖樣在光致抗蝕劑材料上曝光，它就會被轉移到底層基板上。為確保這種材料不粘在石英板上，頭部采用軟觸摸接觸技術。這減少了對光刻材料的應力，這有助於防止在轉移過程中形成任何不希望的峰或陰影。TEL Lithius i還提供了其他幾個優勢。它有一個內置的清潔工具，允許最小的交叉汙染和提供卓越的打印效果。此外，它具有較低的光致抗蝕劑消耗，以較低的成本提供最大可能的曝光結果。與傳統光刻相比，TOKYO ELECTRON Lithius i資產提供了更快的速度和自動化技術。其獨特的功能使它能夠產生產量、準確性、可重復性和耐用性提高的結構。所有這些操作效率使這種光刻膠模型成為當今最通用、最具成本效益的工藝之一。