二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9361961 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i是一種高精度、先進的光刻膠設備，用於光刻膠材料的沈積。該系統用於將光敏材料應用於晶片基板的半導體制造過程中。該單元集成了包括光刻在內的尖端精密技術，以實現光刻膠的精確圖樣化。TEL Lithius i采用精確對準和精確掃描運動以及精確劑量控制。這有助於機器制作適合下一代半導體器件使用的高分辨率圖樣。該工具還提供了高圖像贏得精度以及可靠的精細圖樣控制,以實現卓越的性能。TOKYO ELECTRON Lithius i配備了最新的應用控制軟件，確保高吞吐量和改進的設計能力。這樣可以確保獲得的結果質量最高。此外,Lithius i還提供方便用戶的操作,從而提高了生產效率並降低了成本。該資產提供了多種組件，有助於確保光刻膠應用模型的準確性和可靠性。這些組件包括精確控制機構、曝光劑量監控器和運動控制模塊。設備提供的其他功能包括全攝像頭模塊、自動曝光模式、光學定位和雙光束對準系統。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i還具有多重對準和配位校正功能，有助於確保以準確和精確的方式應用光刻膠。這樣可以在晶片上構建IC時提高精度。該設備還具有高級數據記錄功能,有助於準確記錄每次操作期間使用的光刻膠參數。總之，TEL Lithius i是一種先進的光刻機，為用戶在集成電路（IC）晶片基板上沈積光刻材料提供了一種有效可靠的解決方案。該工具具有先進的光刻精密技術、精確跟蹤和對準控制、圖像獲得精確度以及完整的相機模塊。因此，用戶可以對自己的光阻應用過程充滿信心。