二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9384058 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款先進的光刻設備，專為跨越光刻領域的應用而設計。它為各種微加工工藝提供了高精度晶片圖樣操作的最佳性能。該系統提供自動化的基板管理、精密的抗塗層和暴露、快速發展和清潔控制。TEL Lithius i+為微圖案操作提供了極高的精度。其特點是具有頂級精度和可重復性的高精度激光頭，自動化基板放置的先進切片裝置，以及能處理廣泛抗性的抗性塗層機。此外，該工具還內置了一個采樣器，用於高精度驗證暴露模式和曝光後烘烤（PEB）。TOKYO ELECTRON LITHIUS i+通過允許光刻膠的精確、高速的開發，加上一個特殊的基板清潔單元來防止殘留粒子附著在基板上，從而實現更快的光刻工藝。此外，該資產可以精確地測量和控制抗蝕劑的濃度和化學抗蝕劑的分配。Lithius i+具有各種先進的安全功能，包括過電流傳感器、輻射監視器和軟件控制的聯鎖。它還具有方便用戶的界面和自定義功能,可以輕松監控、管理和調整操作。此外，該模型還配備了實時數據采集和分析設備，能夠快速、方便地反饋到生產過程中。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一種先進的光刻系統，在高精度晶片圖樣操作中提供最佳性能。它具有先進的基板管理、快速的加工和對抗性濃度和分配的精確控制.此外,該單元還配備了用戶友好的界面、內置的安全功能和定制功能,使其非常適合各個領域的各種生產流程。