二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9391713 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是用於光刻的光刻設備，是制造半導體、微處理器和數字顯示器的關鍵技術。它通過生產設計的高保真二維掩碼來工作，然後將其轉移到矽或其他材料晶片上。TEL Lithius i+采用了獨特的三重曝光技術，結合了先進的光掩模創建、精確對準和高精度的終端工藝，以生產具有卓越邊緣敏銳度和良好線寬和輪廓的優越結構。該系統將光敏材料應用於膠片或印版,用於印刷和制造元件。同時，它提供對紫外線或電子流等輻射源的暴露，以所需的模式去除和/或形成目標材料。TOKYO ELECTRON Lithius i+獨特的三曝光技術允許靈活地在晶圓或基板上以最小的失真創建復雜程度不同的結構。它還會導致很小程度的錯位,從而允許精確的線寬,且幾乎沒有舍入。Lithius i+還具有先進的定位和精細測量技術以及低壓曝光,這有助於提高從一個過程到下一個過程結果的一致性。此外,每次拍攝的周期成本相對較低,既經濟又方便地用於小型和大型工藝。該單元還利用專有軟件算法在曝光過程中實現高精度投影對齊。這允許高度精確地將圖樣轉移到目標基板上。用戶友好的控制環境提供實時性能反饋和結果,以監控應用程序進程的進度和質量。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一臺先進的光刻機，為需要高分辨率和精確度的制圖工藝提供可靠的平臺。它結合了高分辨率沈積技術、最先進的對齊系統和先進的軟件,使其成為高精度和低成本制造標準合規性都至關重要的應用程序的理想選擇。