二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9407206 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是用於先進半導體器件光刻工藝的下一代光刻設備。它具有先進的成像性能,以及更高的生產率和更高的產率。TEL Lithius i+為前端和後端工藝提供了先進的成像系統，它允許0.3um最小線寬的晶片進行高分辨率陣列化。它配備了一個全自動對準單元，可以快速、精確地工作，並且可以同時處理多達4個晶片。該機還具有先進的運動和溫度控制系統，在光刻過程中實現了平穩、連續的流動。TOKYO ELECTRON Lithius i+中使用的光刻膠被設計為在光刻過程中提供改進的性能，並允許創建較小的特征。該工具還可以檢測和糾正光刻過程中的任何潛在誤差，從而提高產量和提高生產率。該資產配備了先進的熱控制，允許晶片的穩定處理，無論其大小和復雜性如何。其先進的光學模型允許在分子水平上進行精確的分辨率和對比度操作。設備的高級自動化級別確保了從對齊到曝光的快速、準確的操作。該系統包括光學和激光對準工具，以確保晶圓位置準確，最大分辨率。其內部監測系統可以檢測到雜質引起的任何像差，對結果的準確性提供了高度的信心。該單元產生的數據還可用於生成自動化過程控制報告，這些報告為提高光刻工藝的準確性和產量提供了寶貴的數據。最後，該機與多種其他系統兼容，提供無縫集成，方便使用。