二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293759416 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I是一款先進的光刻設備,具有四室平臺、專有的HEPTACHEM™濕顯影化學和集成的高分辨率掩模對齊器。光致抗蝕劑系統能夠以最高的精度和最小的清理要求處理半導體晶片。TEL Lithius Pro-I是一個全自動單元，具有四室平臺，可同時處理多個晶片，為大容量晶片生產提供最佳吞吐量。它具有板載ASML EBR控制機、確保均勻性和可重復處理操作的熱室、用於清潔晶圓的靜電揚聲器以及連接液體處理和排氣系統以盡量減少對環境的影響。光致抗蝕劑工具中使用的HEPTACHEM濕顯影劑化學可以確保光致抗蝕劑的均勻和可重復的塗層工藝以及準確和一致的塗層。它還消除了在施用前溶解化學物質中的光致抗蝕劑的任何需要。獨特的HEPTACHEM化學提供一致的結果，無論晶圓表面質量和薄膜厚度。TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO I資產中集成的高分辨率掩模Aligner提供了光掩模與晶圓表面高度精確的對準。然後,可以準確、一致地對蒙面晶片進行預處理,以進一步確保產品質量。四室平臺、HEPTACHEM™濕顯影化學、集成高分辨率掩模Aligner的結合，讓wafort廠商利用先進的光刻膠模式，以最少的浪費和快速的速度制作出高品質的產品。該設備是需要精確過程控制和可重復結果的半導體研究和制造應用的絕佳選擇。