二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293815848 待售
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ID: 293815848
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Coater / Developer system, 12"
(5) Front Opening Unified Pods (FOUP)
(7) PRA / CRA / IRAI / PRAI
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I是為先進光刻工藝而設計的光刻設備。它能夠實現高度精確的光阻性能分析,滿足50納米以下特性和高級節點半導體制造的迫切需求。該系統具有4x8"標準的高吞吐量，超高分辨率支持廣泛的先進光刻膠，多波長成像選項支持不同光學特性的基板。Pro-I單元提供了一系列工藝能力和先進的成像技術,以滿足領先鑄造廠的需求。它具有超高線性、動態運動和對準校正、出色的非均勻性、動態聚焦調節以及無事先校準的精確叠加等特點。它還支持具有柔性軌道的自動基板處理，能夠處理具有多層的光刻膠和其他材料。憑借其先進的幹涉測量能力，它可以在保持最高精度的同時將掩模精確對準基板。此外,它的內置像差校正通過單獨定制的補償器集合,確保輪廓精度和高分辨率成像。Pro-I還具有一系列軟件和硬件選項。自動化功能、軟件模型和用戶界面允許用戶根據需要自定義工具。它還支持先進的技術，如大劑量OAD，使特征打印超出0.3微米尺寸限制，電子束光刻，用於詳細的微機械化。此外,Pro-I還與其他TEL流程（如Aligner系列）集成,以方便無縫設置和輕松的機器操作。利用集成的圖像分析和自動曝光，可以準確識別和傳輸處理前後的光掩模。它還具有強大的python執行環境和用於自動工作流的後處理軟件。TEL Lithius Pro-I是具有高級要求的半導體制造商的理想解決方案。它以高精度支持復雜的光刻過程,同時提供一系列可定制的自動化和軟件工具。
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