二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #9296908 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I是一款光刻設備，設計用於提供光刻成像、膠片顯影，以及廣泛的基板表面清潔。它非常適合制造集成電路、MEMS、數據存儲和其他精密微電子器件。Pro-I由三大系統組成：主系統、氣箱和表面清潔單元。主機包含紫外線（UV）光源、用於成像的步進/掃描儀以及用於基板處理的真空級。它還提供曝光脈沖、聚焦同步和濾波器選擇。燃氣箱為光刻烘烤、預冷、蝕刻和後冷提供了必要的氣體。表面清潔工具提供無刷、基於等離子體的清潔過程。Pro-I能夠成像到25毫米。其聚焦資產的設計目的是保持<± 1.0 μ m的分辨率和16MHz的吞吐量。它可以加工厚度高達0.5m的基板。Pro-I的UV光源可用於繪制小至0.5 μ m的圖樣,最大層厚度可達1.5 μ m。Pro-I還提供可選功能,包括自動變速箱控制（ATC）、波形發生器、介電感知器加熱以及一系列用於不同紫外線波長的曝光頭。它有一個化學處理模型，減少危險材料的使用量和回收化學品再利用。它還提供了一個高級晶圓顛簸選項來支持各種類型的顛簸。Pro-I是一款完全可配置、堅固可靠的設備,旨在滿足最高的光刻成像和清潔標準。它易於使用，並提供優異的產量、可重復性和高度自動化。它是在各種基板上制造各種微電子器件的可靠、經濟高效的工具。