二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #293603567 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i是一款針對最高精密光刻需求而設計的尖端光刻設備。光致抗蝕劑系統對於半導體工業來說非常重要，因為它們允許將特征蝕刻到各種材料中。TEL Lithius Pro V-i使用項目曝光從捐贈的蒙版創建模式。這是使用模式發生器完成的,該發生器使用革命性的光柵光閥（GLV）技術,在這些40納米管線中,在12.0 mJ/cm2的曝光劑量下,每納米分辨率可達到8.5。另外，ProV-i利用可變數值孔徑（VNA）控制和局部相幹照明系統的相幹控制來實現最佳的叠加精度。Pro V-i還提供了更高的曝光精度,最大可± 1 nm的聚焦監控和± 1 mJ/cm2劑量的測量。此外,Pro V-i還支持多種工藝,如灰化、清潔和烘烤抗蝕劑材料。該設備還提供對掃描機、曝光工具和機械手的全功率過載保護,確保設備不會因浪湧而損壞。Pro V-i還具有一系列附加功能,如高級控制電子設備,可提供可定制警報、安全參數和數據歸檔等功能,以及用於提高資產自動化程度的大量接口。最後,Pro V-i包括一個自動對焦控制接口（可提高對焦精確度）,以及一組可拆卸的蒙版工作臺（可拆卸兩次曝光之間的蒙版）。總體而言,TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO VI是一款非常先進的光刻模型,專為滿足最精確的光刻需求而設計。其多種特性和用戶友好的設計使其成為一種用途廣泛、可靠的工具，使其成為現代半導體行業的理想選擇。